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半導(dǎo)體廢水怎么處理?

來源:青島康景輝 瀏覽:1881 發(fā)布日期:2020-11-20 16:07:00【

半導(dǎo)體廢水怎么處理?半導(dǎo)體介于絕緣體和導(dǎo)體之間,在電子行業(yè)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)興盛推推動這人類的進(jìn)程,但廢水的處理問題也困擾行業(yè)新突破。

一、半導(dǎo)體廢水分類

生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝在半導(dǎo)體基板上,利用氧 化、蝕刻、擴(kuò)散等方法,將電子電路聚組合成二極管、晶體管等電子組件。常見的半導(dǎo)體材料多為半導(dǎo)體元素和化合物半導(dǎo)體兩種,早期應(yīng)用的硒、鍺不斷發(fā)展后使用的硅和砷化鎵到如今更多的材料用于半導(dǎo)體生產(chǎn)。

半導(dǎo)體廢水的來源多來自硼、磷、錮、銻生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水,因為工藝要求高、涵蓋光刻、切割和研磨等各種復(fù)雜工藝,產(chǎn)生的污染種類眾多,成分又復(fù)雜,可將半導(dǎo)體廢水分類為重金屬廢水、有機(jī)廢水、硅和氟廢水三種。

半導(dǎo)體廢水蒸發(fā)處理

二、半導(dǎo)體廢水怎么處理

考慮到半導(dǎo)體廢水含大量金屬離,各種有機(jī)污染物多,細(xì)懸浮顆粒多,處理難點(diǎn)較高,采用單一處理方式預(yù)計效果不理想,組合工藝兼容性好,水質(zhì)要求較低。如果以預(yù)處理+蒸發(fā)處理較為合理的。

三、半導(dǎo)體廢水處理流程

半導(dǎo)體廢水的預(yù)處理可以采用物理法、化學(xué)法、吸附法先去除廢水內(nèi)的懸浮顆粒物,保證蒸發(fā)過程中廢水不會因為懸浮物堵塞管道,處理后的半導(dǎo)體廢水隨高溫蒸汽一同進(jìn)入到加熱室內(nèi),加熱室的高溫讓廢水得到快速升溫沸騰,溶劑汽化為蒸汽,得到濃縮或析出結(jié)晶顆粒,持續(xù)加熱直至結(jié)晶成長完成,脫水干燥排出,二次蒸汽冷凝為水后排出再次使用。 ??

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